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無塵車間淨化等級劃分是依據什麽?

發布時間:2019-05-30 08:36
  淨化等級一般分為100級、1000級、10000級、100000級,現在2010年版的GMP淨化車間已經不用這個叫法了,分為ABCD級別,分別相對應於98版的幾個級別,通過檢測區域內的塵埃粒子數、浮遊菌數、沉降均數評價淨化級別,各個級別有不同的要求,淨化等級分靜態、動態兩種。
 
(一)潔淨室之等級  世界各國均有自定規格,但普遍還是用美國聯邦標準209為多,以下僅就209D及209E和世界上其它各國製定標準作介紹與相互比較。  209E與209D等最大之不同在於209E表示單位增加了公製單位,潔淨室等級以‵M′字頭表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推,配合國際公製單位之標準化,M字母後之阿拉伯數目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數目字以10的冪次方表示,取指數為之,若微塵粒子數介於前後二者完全冪次方之間,則以1.5、2.5、3.5….表示。 潔淨網z:Wg1pj   美國聯邦標準FS 209D都以英製每立方英呎為單位,日本則是采用公製,即以每立方公尺為單位,以0.1μm微粒子為計數標準。日本標準之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,最好的等級為Class 1,最差則為Class 8,以每立方公尺中微塵粒子總數中化為10的冪次方,取其指數而得。
(二)潔淨室之定義  潔淨室(Clean Room),亦稱為無塵室或潔淨室。 「潔淨室」是指將一定空間範圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之汙染物排除,並將室內之溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控製在某一需求範圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔淨度、溫濕度及壓力等性能之特性。  潔淨室最主要之作用在於控製產品(如矽芯片等)所接觸之大氣的潔淨度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、製造,此空間凱時AG優質運營商稱之為「潔淨室」。(三)潔淨室控管之項目  1. 能除去空氣中飄遊之微塵粒子。  2. 能防止微塵粒子之產生。  3. 溫度和濕度之控製。  4. 壓力之調節。  5. 有害氣體之排除。  6. 結構物與隔間之氣密性。  7. 靜電之防製。  8. 電磁幹擾預防。  9. 安全因素之考慮。  10. 節能之考量。
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