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電子廠房潔淨空間施工與設計建造特點

發布時間:2019-05-29 09:23
電子工業廠的環境特點與潔淨程度您有所了解嗎?對於很多潔淨廠房的人來說有著很多的注意的問題,
電子廠房潔淨空間施工與設計建造特點
電子工廠如大規模集成電路(LSI)、超大規模集成電路(VLSI)等微電子(IC)工廠;液晶顯示器(LCD)、彩色薄膜液晶顯示器(TFT-LCD)、等離子顯示器(PDP)以及發光二極管(LED)、有機電致發光顯示器(OLED)、高分子有機電致發光顯示器(PLED)等光電子工廠都離不開潔淨的生產環境。生產所要求的環境不僅僅有:建築圍護、結構、空氣、水以及氣體、溶劑等原材料,而且還有聲、光、電、磁、振等各種環境。例如:建築的形式和層高、結構的承重、圍護結構的裝修材料;環境空氣的潔淨度、溫濕度、靜壓力;水和氣體的純度和粒子、重金屬的含量以及環境的噪聲、照度、靜電、電磁屏蔽、微振等等。總的來說,電子工廠生產工藝對環境的要求可用大、淨、精、純、嚴五個字來形容。
 
1 電子工廠生產工藝對受控環境的要求
 
•大:生產工藝要求潔淨室的麵積越來越大。就拿彩色薄膜液晶顯示器(TFT-LCD)生產用潔淨室的麵積來說,5代TFT生產用潔淨室的麵積約28000m2;6代TFT潔淨室的麵積約40000m2;到了8代TFT生產用單間潔淨室的麵積就大到80000m2以上。潔淨室內可停放20多架波音747飛機。
 
•淨:電子工廠,尤其是微電子(IC)前工序和光電子(TFT-LCD)前工序的潔淨室對環境潔淨度的要求越來越淨。例如,12時園片超大規模集成電路前工序光刻間的潔淨度要求高達1級(0.1um)也就是每立方英尺空氣中≥O.1um的粒子數不能超過1顆。相當於ISO1級。
 
電子廠房潔淨空間施工與設計
 
•純:大規模集成電路前工序對生產用的高純水、高純氣體以及高純溶劑的純度要求越來越純。例如:對高純水而言,不僅對其電阻率有要求,而且對高純水中所含粒子、細菌、重金屬以及其他元素的離子成份都有嚴格的要求,隨著生產工藝的發展,對其純度的要求也越來越高。可謂純之又純。
 
•嚴:電子工業生產不僅對環境的潔淨度,溫、濕度有嚴格的要求,同時對環境的聲(噪聲)、光(照度)、電(靜電)、磁(電磁場屏蔽)、振(微振)等都有嚴格的要求。尤其微電子生產,對環境的分子級汙染提出了新的嚴格的要求。分子汙染是指環境空氣中要嚴格控製例如鈉(Na)元素、碳(COx)元素、硫(SOx)元素、(NOx)元素等對半導體工藝有害的元素。因此在處理空氣時還要用淋水(淋自來水、淋純淨水)來吸收室外空氣中的有害分子成份和用化學過濾器來吸附新風中的有害分子成份。
 
2電子工廠高級別潔淨室多采用混合流潔淨室
 
為了降低潔淨室的建造初投資和運行能耗,電子工廠的高級別潔淨室一般把ISO 1級~ISO 5級這樣高淨化級別的垂直單向流用在工藝生產最重要、最關鍵的部位,用大麵積的非單向流(ISO 6級~ISO 8級)替代大麵積的單向流,也就是把垂直單向流與非單向流組合在一個潔淨室內,構成混合流潔淨室。
 
混合流潔淨室的淨化空調係統一般采用新風機組(MAU)加風機過濾器機組(FFU)加幹冷盤管(DC)的送風方案。當前國內外微電子、光電子等大麵積的生產廠房廣泛采用的混合潔淨室,具有調節方便、節能顯著、靈活性強,適應電子工業工藝的更新換代,又能節能非生產麵積和非生產空間等優點,是最佳的空氣處理方案和最優秀的送風係統。
 
•方案中的新風機組(MAU)有五大任務:
 
(1)新風機組要有維持潔淨室內的正壓和補充工藝設備排風的足夠新鮮空氣量,以防止外麵汙染空氣的滲入。一般情況新風量應該等於潔淨室的排風量加上維持室內正壓的滲漏風量之和。
 
(2)新風機組要能確保潔淨室內嚴格要求的相對濕度。因此夏季新風機組要有足夠的降溫去濕能力,在冬季還要求一定的加濕手段。
 
(3)新風機組內要設置多級過濾器(粗效、中效、高效過濾器)以保護FFU終端的超高效過濾器。
 
(4)新風機組要能吸收和吸附室外大氣內中的有害氣體成份,以消除新風中的分子汙染。為此,新風機組內還應設置淋水室以吸收N、S、等有害的元素。淋水室有一級淋水和兩級淋水(一級淋自來水、二級淋純淨水),同時還要設置化學過濾器(活性炭過濾器)用以吸附新風中的有害分子成份。
 
(5)在黃河以北,尤其是我國的東北地區,在冬季室外空氣溫度在零下十幾度或幾十度。因此,新風機組在北方需要考慮防凍預熱的措施。
 
總之,電子工廠高級別的潔淨室的設計和建造一定要了解其建造的特點,解決其中的各個課題才能建造出高質量、高安全、高可靠、省投資、省運用費.而且確保生產工藝要求的各種環境參數的潔淨室。
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