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電子工業潔淨廠房無塵車間空氣淨化工程改造方

發布時間:2019-05-31 15:00
電子工業潔淨廠房無塵車間空氣淨化工程改造方案  
     電子工業潔淨廠房無塵車間空氣淨化工程改造方案,廠房內隻對千級間黃光室設圍護結構,其餘房間均為敞開式,淨化區域與非淨化區混合在一起,係統較為混亂,難以控製和調節,淨化區域的潔淨度不能達到要求,係統改造後經高度確保每個房間的風量、正壓達到設計要求,在動態下檢測,廠房的潔淨度、溫濕度、噪聲、照度等各項指標均達到設計要求。尤其是係統改造前問題比較突出的幾個區域,黃光室達到動態千級;護散爐區域經過彩鋼板圍護,其周圍區域溫度達到達設計要求;酸洗槽改為上抽風,斷麵風速均達到0.3m/s;風淋室的初、高效過濾器更換後,阻力降低,更換循環風機後風速提高,出口風速達到26m/s。  
 
     本文在天津某電子廠房原有的淨化空調工程基礎上,潔淨廠房,無塵車間,空氣淨化工程--電子工業潔淨廠房無塵車間空氣淨化工程改造方案對工藝布置和淨化空調係統提出改造方案,並對方案設計進行了簡單的介紹。  
1 原有淨化空調工程情況  
   1.1   簡況  
   該廠房位於天津市開發區,建於1995年,主要生產半導體芯片。廠房共建三層,需改造項目位於二層,係統的平麵布置如圖1所示。係統總麵積1510m2,  其中空調麵積385m2, 淨化麵積1125m2,淨化級別除黃光室為千級外,其餘均為萬級。熱源為廠區生產的0.3MPa的蒸汽,冷源采用螺杆式冷水機組,冷凍水出水溫度為7℃,回水溫度12℃,冷水機組和空氣處理機組位於一層機房內,空氣處理機組采用組裝式淨化用空氣處理機組一台,風機風量為6000m3/h,機外餘壓為800Pa,送風段設置兩條1250mmx800mm的送風管,向係統各房間送風。  
   1.2 係統存在的主要問題  
    (1)廠房內隻對千級間黃光室設圍護結構,其餘房間均為敞開式,淨化區域與非淨化區混合在一起,係統較為混亂,難以控製和調節,淨化區域的潔淨度不能達到要求;  
    (2)非淨化區域的擴散爐,經測定表麵溫度可達50℃,散熱量非常大,在原有設計中存在空調送風量不足問題,造成擴散爐周圍區域的溫度高達37℃,並且回風循環使用,不利於節能;  
    (3)酸洗槽的排風量不足,平均斷麵風速為O.1m/s,酸性物質存留在室內環境中,不能有效地排出,嚴重影響室內的衛生和生產環境;  
    (4)在廠房潔淨區入口處的風淋室風速為12m/s的要求,需要更換循環風機。  
   2 改造方案  
   針對係統運行中出現的的以上情況,經與甲  
 統風量計如表1所示。K-1係統經計算按照擴散爐的散熱量計算送風量,根據文獻【2】工業爐的散熱量,其中室內設計溫度取30℃,空調送風溫度取20℃,經計算擴散爐的總冷負荷為69kW,空調送風量為20700m3/h根據計算結果JK-2係統仍然采用以前的空調機組(係統機組外阻力為700Pa),其餘兩個係統分別采用新空調機組,其中因為機房位置的限製,JK-1係統空調機組設在原來的空調機機房內,K-1係統空調機組選用吊頂式空調機組,置於夾層內。  
    (2)JK-1係統在黃光室的入口增設風淋室,因無物流通道,設置傳遞窗,以保證室內的潔淨皮。  
    (3)JK-2係統主要存在兩個問題:第一是酸洗槽的排風罩設在酸洗槽的側麵不利於有害氣體的排出,改造設計中將排風罩設在酸洗槽上方;第二酸洗槽的排風量根據生產要求,槽的斷麵風速達到0.25m/s,當所有酸洗槽同時工作時,排風量高達32200m3/h,所以對排風的能源進行回收,設置防酸性熱回收裝置,風量排出前先與新風進行熱量交換進行熱量交換,節約運行費用。  
    (4)K-1係統,因為護散爐間人員極少進入,全年的運行方案為:夏季因擴散爐的散熱量較大,係統做成全排式;過渡季節當室外溫度低於送風溫度時,停止製冷,將新風作為冷源直接送入室內;冬季因為排風溫度較高,可用排風預熱新風到設計溫度後送入室內,最大限度地節省運行費用,避免能源的浪費。  
 3 改造後的使用效果  
 係統改造後經高度確保每個房間的風量、正壓達到設計要求,在動態下檢測,廠房的潔淨度、溫濕度、噪聲、照度等各項指標均達到設計要求。尤其是係統改造前問題比較突出的幾個區域,黃光室達到動態千級;護散爐區域經過彩鋼板圍護,其周圍區域溫度達到達設計要求;酸洗槽改為上抽風,斷麵風速均達到0.3m/s;風淋室的初、高效過濾器更換後,阻力降低,更換循環風機後風速提高,出口風速達到26m/s。  
    本工程改造前主要特點表現在係統工藝布置不合理(未對淨化區及非淨化區時行明確劃分)、混用掙化及非淨化區空調係統,不符合“規範”的要求;酸洗槽排風量不足;護散爐區因送風少及未設局排設施導致環境溫度超標;改造後將生產工藝布局做了適當調整,按照規  
 範的要求,對淨化區及非淨化區單獨設置空調係統;加大酸洗槽排風量,同時采用了熱排風問收裝置,對補充新風進行預熱 (預冷),節約能源,降低運行費用。建議在今後的空調工程設計中,對於生產環境有要求的工藝,既應該按照生產過程布置工藝,同時還要考慮到有利於空調淨化係統的調節和控製,保證生產環境的可靠性。  
    4 結論  
    K-1係統,因為護散爐間人員極少進入,全年的運行方案為:夏季因擴散爐的散熱量較大,係統做成全排式;過渡季節當室外溫度低於送風溫度時,停止製冷,將新風作為冷源直接送入室內;冬季因為排風溫度較高,可用排風預熱新風到設計溫度後送入室內,最大限度地節省運行費用,避免能源的浪費。
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