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光學微電子淨化工程

發布時間:2019-05-30 13:24
光學微電子淨化工程之定義為將一定空間範圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之汙染物排除,並將室內之溫濕度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控製在某一需求範圍內,而所給於特別設計之密閉空間。   
光學微電子淨化工程亦名無塵室或清淨室,目前已是半導體、精密製造、液晶製造、光學製造、線路板製造和生物化學、醫藥、食品製造等行業不可或缺的重要設施。近幾年來,由於技術之創新發展,對於產品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究製造,已成為世界各國在科技發展上極為重視的項目,而我公司的設計理念及施工技術在行業中則處於領先地位。   
 
光學微電子淨化工程一般包括:   
1、 潔淨生產區   
2、 潔淨輔助間(包括人員淨化用房、物料淨化用室和部分生活用室等)   
3、 管理區(包括辦公、值班、管理和休息等)   
4、 設備區(包括淨化空調係統應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房)   
 
光學微電子淨化工程淨化原理   
氣流→初效淨化→空調→中效淨化→風機送風→管道→高效淨化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌   
等顆粒 → 回風百葉窗→初效淨化 重複以上過程,即可達到淨化目的。   
 
光學微電子淨化工程淨化參數   
換氣次數:100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa   
平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃。   
溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產生靜電。   
噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的10%-30%;照度300LX。   
 
  光學微電子淨化工程結構材料   
1. 淨化廠房牆、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板製造,其特點為美觀、剛性強。圓弧牆 角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材製造。   
2.地麵可采用環氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。   
3.送回風管道用熱渡鋅板製成,貼淨化保溫效果好的阻燃型PF發泡塑膠板。   
4.高效送風口用不鏽鋼框架,美觀清潔,衝孔網板用烤漆鋁板,不生鏽不粘塵,宜清潔。
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